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Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，產(chǎn)品型號(hào)：91000-10。 Evactron ® Zephyr 凈化器系列專為 SEM、FIB 和其他使用渦輪分子泵的真空室而設(shè)計(jì)。它們專為 SEM/FIB 系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可快速高效地去除碳?xì)浠衔铮粫?huì)損壞樣品或敏感組件。

Evactron EP Plasma Decontaminator + Android For Hitachi，產(chǎn)品型號(hào)：91000-11。 遠(yuǎn)程射頻等離子清潔器通過(guò)分解碳并將其轉(zhuǎn)化為氣相，然后由泵送系統(tǒng)去除，從而減少高真空室中的碳?xì)浠衔镂廴尽?/p>

Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，產(chǎn)品型號(hào)：91000-01。 采用系留觸摸板而非無(wú)線觸摸板。除了每個(gè)型號(hào)的常規(guī)過(guò)濾器外，它還有一個(gè)可選的超級(jí)備用氣源過(guò)濾器。

K850 Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號(hào)：91090。 頂部填充和底部排放的立式室 正常工作溫度 35°C 壓力 1500 psi 熱電珀耳帖制冷和加熱 精控針閥泄壓 帶側(cè)視口和“Lexan”防護(hù)罩的照明室 用于增強(qiáng)溶劑交換的攪拌器系統(tǒng) 帶熱切斷保護(hù)的溫度監(jiān)測(cè)和控制 帶泄壓閥和爆破片保護(hù)的壓力監(jiān)測(cè) 聚碳酸酯安全防護(hù)罩

Large Chamber Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號(hào)：91090-WM 170 mm 直徑腔室 - 針對(duì)晶圓/MEMS 干燥進(jìn)行了優(yōu)化 帶頂部裝載和底部排水的垂直室 - 確保樣品在干燥過(guò)程中不會(huì)暴露 熱電加熱——精確控溫 精細(xì)控制針閥壓力下降——精確控制 帶熱切斷保護(hù)的溫度監(jiān)測(cè)和控制 帶安全斷路裝置的壓力監(jiān)測(cè)，用于過(guò)壓 三年質(zhì)保

E4800 Recirculating Heater/Chillers，產(chǎn)品型號(hào)：E4860 精確的溫度控制 安靜、高效的運(yùn)行 久經(jīng)考驗(yàn)的可靠性 低維護(hù) 環(huán)保——避免自來(lái)水浪費(fèi)

Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號(hào)：E3100 如果需要增加腔室體積，無(wú)論是尺寸還是數(shù)量，都可以干燥，大容量型號(hào) E3100 可用。腔室尺寸為 63.5 毫米內(nèi)徑 x 82 毫米長(zhǎng)，大約是 E3000 體積的三倍。轉(zhuǎn)運(yùn)船還將接受三倍數(shù)量的標(biāo)本籃。

Turbo-Pumped Sputter Coater/Carbon Coater，產(chǎn)品型號(hào)：Q150GB. Q150 GB 是非常成功的 Q150T ES Plus 臺(tái)式渦輪分子泵涂層系統(tǒng)的模塊化手套箱版本——適用于 SEM、TEM 和許多薄膜應(yīng)用。Q150 GB 標(biāo)配有濺射和碳棒蒸發(fā)插件以及旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。選項(xiàng)包括金屬蒸發(fā)、輝光放電、薄膜厚度測(cè)量和適合各種樣品類型的特殊載物臺(tái)。